七星流量计 D07-9E 质量流量计气体质量流量控制器

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摘要

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。

产品介绍

产品型号	D07-9E
产品类型	普通型
流量量程	20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm
产品精度	±2％F.S.
重复精度	±0.2% FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤4sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Male
工作压差范围	(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）
漏率	1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	VCR1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	- 无 -
重量	2.6Kg

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七星流量计 D07-9E 质量流量计 气体质量流量控制器

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