七星D07系列质量流量计

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关键词：流量计质量流量计七星 D07系列

摘要

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。

产品介绍

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
D07系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点，其操作使用方面，可任意位置安装，并便于与计算机连接实现自动控制。
D07系列质量流量控制器和质量流量计一般与D08系列流量显示仪等产片配套使用，控制器与显示仪之间用专用电缆连接。

项目/型号	D07-11B	D07-11BM
流量规格	（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10）SLM	（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10）SLM
准确度	±1%F.S	±1.5%F.S
线性	±（0.5~1）%F.S	±（0.5~1.5）%F.S
重复精度	±0.2%F.S	±0.2%F.S
响应时间	电特性：10sce 气特性：（1~4）sce	10sce
工作压差范围	（0.2~0.8）MPa	气压降＜0.01MPa
耐压	10MPa	10MPa
工作环境温度	5℃~45℃	5℃~45℃
输入输出信号	0V~+5.00V （输入阻抗大于100K，输出电流大于3mA）	0V~+5.00V （输入阻抗大于100K，输出电流大于3mA）
电源	+15V 50mA -15V 200mA	+15V 50mA -15V 50mA
重量	1.1Kg	0.92Kg

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