七星流量计 D07-7C 质量流量计 气体质量流量控制器
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摘要
质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。
产品介绍
产品型号 D07-7C 产品类型 普通型,抗电磁干扰 流量量程 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 产品精度 ±1.5％F.S. 重复精度 ±0.2% FS 线性 ±1％F.S. 响应时间 ≤10sec 工作温度范围 (5~45)°C 耐压 3MPa 密封材料 氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene 输入输出信号 (0~5)VDC 电源 ±15V 阀类型 常闭 温度系数 零点飘移指标 - 无 - 电气连接 D sub 15 pins Female 工作压差范围 (0.1～0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 标准接头形式 双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 表面化学成分 - 无 - 表面粗糙度 - 无 - 抗电磁干扰 CE 重量 1.1Kg
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