七星流量计 D07-19F 质量流量计气体质量流量控制器

服务热线：	025-85344456
传真：	025-85771949
联系QQ：	3104362408
公司地址：	南京市栖霞区和燕路349号易途产业园3栋205室
	留言咨询更多信息
分享：

上一条： 七星流量计 D07-23F 质量流量计气体质量流量控制器

下一条： 七星流量计 D07-7K 质量流量计气体质量流量控制器

关键词：流量计流量控制器 D07-19F

摘要

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。

产品介绍

产品型号	D07-19F
产品类型	抗电磁干扰
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm
产品精度	±1％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5％F.S.(20slm 30slm ±2％F.S.)
响应时间	≤4sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene
输入输出信号	(1~5)VDC,(4~20)mA
电源	24V
阀类型	常闭
温度系数	- 无 -
零点飘移指标	- 无 -
电气连接	D sub 15 pins Male
工作压差范围	(0.1～0.3) MPa （10slm＜F.S.）,(0.1～0.5) MPa （F.S.≤10slm）
漏率	1×10-9atm•cc / sec He（1×10-10 Pa•m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	- 无 -
表面粗糙度	- 无 -
抗电磁干扰	CE
重量	1.2Kg

更多>>

七星流量计 D07-19F 质量流量计 气体质量流量控制器

七星流量计 D07-19F 质量流量计气体质量流量控制器