七星流量计CS200A（MFC）质量流量计

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关键词：流量计 CS200A 质量流量计

摘要

质量流量计用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。他们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩撒、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、色相谱仪及其它分析仪器。

产品介绍

产品型号	CS200-A型
产品类型	高精度型,快响应型,数字型,低零漂及温漂型,抗电磁干扰
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm,50slm
产品精度	±0.35％F.S.(＜35% F.S.) ±1.0% S.P.(≥35% F.S.)
重复精度	±0.2% FS
线性	±0.5% F.S.
响应时间	≤1sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,金属密封 Metal
输入输出信号	(0~5)VDC,(0~20)mA,(4~20)mA,RS-485,DeviceNet,Profibus
电源	±15V,24V,±8 ~ ±16 VDC or +14 ~ +28 VDC
阀类型	常开(流量量程≤30slm)或常闭
温度系数	Span: ≤±0.1% F.S./℃（≤30slm）,Zero: ≤±0.05% F.S./℃
零点飘移指标	＜0.6%F.S. per year without autozero
电气连接	Profibus,D sub 15 pins Male,D sub 9 pins Male,DeviceNet Male
工作压差范围	(0.05～0.35) MPa （F.S.≤10slm）,(0.1～0.35)MPa（10slm≤F.S.≤30slm）,(0.2～0.45) MPa（30slm＜F.S.）
漏率	1×10-9atm?cc / sec He（1×10-10 Pa?m3 / sec He）
标准接头形式	双卡套1/4”(满量程≤30slm),双卡套1/8”(满量程≤5slm),双卡套Φ3 (仅适用于满量程≤5slm产品),双卡套Φ6(仅适用于满量程≤30slm产品),双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,VCO1/4”

表面粗糙度	25?inch
抗电磁干扰	CE

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