硅烷工艺系统

1 硅烷工艺系统的设计应根据下列因素确定：

1 硅烷站的规模；
2 硅烷的物理化学性质；

3 当地硅烷供应的充装、运输状况；
4 用户对硅烷纯度、压力和负荷变化的要求。

2 硅烷输送系统应设有硅烷容器、气体面板、阀门箱及连接管道。

3 硅烷气体面板应包括减压过滤、吹扫、排气、安全控制的功能。

4 硅烷系统须采用独立的惰性气源进行吹扫。

5 硅烷阀门箱设置除应符合本标准第4.2.6条的规定外，还应配置惰性气体吹扫装置、气体泄漏探测器和紫外红外火焰探测器。

6 硅烷系统的排气装置的设置应符合下列规定：

1 硅烷系统的排气管不得接入排风系统；
2 排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。

7 硅烷连接管道钢瓶侧应设置常闭式紧急切断阀，硅烷站的安全出口应设置手动紧急切断按钮，至少有一个手动紧急切断按钮与输送装置的距离不应小于4.6m。

8 硅烷系统阀门、附件的设置应符合下列规定：

1 硅烷输送系统应采用金属材质的波纹管阀、隔膜阀、调压阀；
2 硅烷输送系统应根据流量配置不同直径的限流孔板：

3 硅烷系统应配置过流开关、紧急切断阀，调压阀的加热装置应根据流量核算确定。